一、概述
靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应,用于物理镀膜中的溅镀,主要有金属靶材和陶瓷靶材。根据不同的形状,靶材分为长靶、方靶、圆靶、管靶,而根据不同的组成成分,靶材主要分为金属、合金、陶瓷靶材,不同构成的靶材其性质大不相同,因此根据不同领域的不同需求,也衍生出多样化的靶材。
靶材主要品种
分类标准 | 产品类别 |
按形状分类 | 长靶、方靶、圆靶、管靶 |
按化学成份分类 | 金属靶材(纯金属钼、铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(钼铌合金、钼钛合金、钼钽合金、镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等) |
按应用领域分类 | 半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材 |
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二、竞争分析
由于靶材核心需求是高密度、高纯度、高均匀性,所以在不同应用领域对靶材材料的选择和性能要求也各不相同,尤其是半导体领域对靶材技术和纯度要求高。现阶段,企业对靶材研究方向主要体现在多元化、高纯度、大型化、高利用率等方面。
靶材对于不同性能有不同的高要求
性能指标 | 影响 |
纯度 | 靶材中的杂质和气孔中的O2和H2O在沉积过程中容易在薄膜表面形成熔滴和孔洞。因此靶材纯度越高,溅射薄膜的均匀性越好,性能越高。 |
致密度 | 靶材的致密度不仅影响溅射沉积速率、还影响薄膜的物理和力学性能。靶材致密度越高,溅射膜粒子的密度越低,放电现象越弱,薄膜的性能也越好;致密度低的靶材在溅射过程中,存在于靶材孔隙中的气体突然释放,造成大尺寸颗粒飞溅,或在成膜之后薄膜受到二次电子的轰击产生微粒,这些微粒的出现将严重影响涂层质量。 |
成分与结构均匀性 | 靶材的成分和结构均匀,在镀膜过程中才能均匀地溅射在基体上,如果均匀性不好,沉积出来的薄膜容易出现孔洞、间隙、凸起等缺陷。 |
晶粒尺寸和取向 | 靶材的晶粒尺寸越细小,沉积的薄膜厚度分布越均匀,溅射速率越快。合金靶材的溅射沉积镀膜过程中具有择优溅射现象,这将严重影响到薄膜的化学组成。 |
几何形状与尺寸 | 加工精度体现在表面粗糙度和平整度等。需要关注靶材表面有无开裂、缩孔和难熔不熔物等,表面质量缺陷对溅射镀膜均匀性影响很大。 |
其他性能要求 | 主要是对溅射靶材的热导率、电导率和热膨胀系数的要求。因溅射导致靶材的温度升高,热导率越高热量传递的越快,靶材离子的蒸发效果越好,沉积效率越高;靶材与基材的热膨胀系数的差值越小越好,借以减小热应力的影响 |
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由于靶材对于不同性能有不同的高要求,所以工艺壁垒较高。目前,我国靶材所采用的溅射镀膜工艺均来自国外,尤其是霍尼韦尔、日矿金属等日美企业引进较多,2021年日美企业市场份额占据国内靶材70%以上。
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此外,在应用领域方面,不同领域使用靶材成分、用途及性能要求不同。例如,氧化铟锡(ITO)靶材是平板显示器制造领域的核心材料,是靶材中技术难度较大的产品,ITO靶材内部晶体结构需要工艺技术搭配出来,比金属靶材的工艺复杂的多,所以ITO靶材技术壁垒高。
不同领域使用靶材成分、用途及性能要求
应用领域 | 金属材料 | 主要用途 | 性能要求 |
半导体芯片 | 超高纯度铝、钛、铜、钽等 | 制备集成电路的关键原材料 | 技术要求最高、超高纯度金属、高精度尺寸、高集成度 |
平面显示器 | 高纯度铝、铜、钼等,掺锡氧化铟(ITO) | 高清晰电视、笔记本电脑等 | 技术要求高、高纯度材料、材料面积大、均匀性程度高 |
太阳能电池 | 高纯度铝、铜、钼、铬等,ITO | TCO薄膜 | 技术要求高、应用范围大 |
信息存储 | 铬基、钴基合金等 | 光驱、光盘等 | 高储存密度、高传输速度 |
工具改性 | 纯金属铬、铬铝合金等 | 工具、模具等表面强化 | 性能要求较高、使用寿命延长 |
电子器件 | 镍铬合金、铬硅合金等 | 薄膜电阻、薄膜电容 | 要求电子器件尺寸小、稳定性好、电阻温度系数小 |
其他领域 | 纯金属铬、钛、镍等 | 装饰镀膜、玻璃镀膜等 | 技术要求一般,主要用于装饰、节能 |
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整体上来看,我国靶材行业起步时间较晚,是一个较新的行业,在工艺与生产技术方面和国外先进企业相比,存在较大差距,尤其是高纯溅射靶材市场仍然被美国、日本生产厂商所垄断。随着靶材产业向高纯度、大尺寸方向发展,国产企业需要加快研发出不同应用领域的靶材产品,才能在全球靶材市场中占据一席之地。
我国靶材行业细分领域各企业对比
名称 | 国家 | 成立日期 | 主要产品 | 应用领域 | 主要客户 |
霍尼韦尔 | 美国 | 1885年 | 铝、铜、钛、钽和钛铝靶材等 | 半导体、平面显示 | / |
JX金属(日矿日石金属) | 日本 | 1992年 | 铜、铝、钛、钽、钨靶材、ITO靶材等 | 半导体、平面显示、光伏电池 | / |
东曹 | 日本 | 1935年 | 铝、铜、钽、钛、铬、ITO靶材等 | 半导体、太阳能光伏、平板显示、磁记录媒体 | |
林德(普莱克斯) | 美国 | 1907年 | 铝、钛、铜、钽靶材等 | 半导体、平面显示 | |
三井矿业 | 日本 | 1950年 | ITO、IGZO靶材 | 半导体、平面显示 | |
住友化学 | 日本 | 1913年 | 铝靶材等 | 半导体 | |
爱发科 | 日本 | 1952年 | 铝、铜、钼靶材等 | 平面显示、半导体、太阳能电池 | |
江丰电子 | 中国 | 2005年 | 铝、钛、钽、钨钛靶材等 | 半导体(主要为超大规模集成电路领域)、平面显示、太阳能等 | 中芯国际、台积电、格罗方德、意法半导体、东芝、海力士、京东方、SunPower等 |
阿石创 | 中国 | 2002年 | ITO、钼靶材等 | 平面显示、光学元器件、节能玻璃等 | 京东方、友达光电、群创光电、水晶光电、维信诺、蓝思科技、伯恩光学、高意科技等 |
隆华科技 | 中国 | 1995年 | 钼、ITO靶材等 | 平面显示、太阳能光伏电池、半导体等 | 京东方、天马微电子、TCL华星、台湾群创、信利半导体、韩国LGD等 |
有研亿金 | 中国 | 2000年 | 铜、铝、钛靶、钴、钽靶材等 | 半导体等 | 中芯国际、长江存储以及新加坡、韩国等国内外高端集成电路厂商 |
映日科技 | 中国 | 2015年 | ITO、硅、钼靶材等 | 平面显示、太阳能光伏电池、半导体(LED芯片)、节能玻璃等 | 京东方、惠科集团、华星光电、彩虹光电、长信科技、蓝思科技、伯恩光学等 |
先导薄膜 | 中国 | 2017年 | ITO、钼、铝、铜靶材等 | 平面显示、太阳能光伏电池、半导体、精密光学、数据存储及玻璃等 | 华星光电、京东方、友达光电等 |
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不过,在目前的国内企业生产研发情况来看,我国靶材行业生产企业在技术、工艺及市场方面均有较大的进步,尤其是头部靶材厂商制造技术已经能够和国外企业齐平甚至超过,例如国产高纯Mo靶材、ITO靶材已实现技术突破,并且具备相对有竞争力的产业优势,扭转靶材长期依赖进口的不利局面。
同时,近年国家政策大力支持靶材国产替代,如国务院颁布《“十四五”规划和2035年远景纲要目标》,提出加强集成电路设计工具、重点装备和高纯靶材等关键材料研发,《关于支持集成电路产业和软件产业发展进口税收政策的通知》,提出对于靶材生产企业,进口国内不能生产或性能不能满足需求的自用生产性原材料、消耗品,免征进口关税。因此,在国家相关政策支持推动下,我国靶材行业技术有望取得新突破且国产化替代将加速,市场需求保持增长。(WYD)
观研报告网发布的《中国靶材行业发展趋势研究与未来投资分析报告(2022-2029年)》涵盖行业最新数据,市场热点,政策规划,竞争情报,市场前景预测,投资策略等内容。更辅以大量直观的图表帮助本行业企业准确把握行业发展态势、市场商机动向、正确制定企业竞争战略和投资策略。本报告依据国家统计局、海关总署和国家信息中心等渠道发布的权威数据,结合了行业所处的环境,从理论到实践、从宏观到微观等多个角度进行市场调研分析。
行业报告是业内企业、相关投资公司及政府部门准确把握行业发展趋势,洞悉行业竞争格局,规避经营和投资风险,制定正确竞争和投资战略决策的重要决策依据之一。本报告是全面了解行业以及对本行业进行投资不可或缺的重要工具。观研天下是国内知名的行业信息咨询机构,拥有资深的专家团队,多年来已经为上万家企业单位、咨询机构、金融机构、行业协会、个人投资者等提供了专业的行业分析报告,客户涵盖了华为、中国石油、中国电信、中国建筑、惠普、迪士尼等国内外行业领先企业,并得到了客户的广泛认可。
本研究报告数据主要采用国家统计数据,海关总署,问卷调查数据,商务部采集数据等数据库。其中宏观经济数据主要来自国家统计局,部分行业统计数据主要来自国家统计局及市场调研数据,企业数据主要来自于国家统计局规模企业统计数据库及证券交易所等,价格数据主要来自于各类市场监测数据库。本研究报告采用的行业分析方法包括波特五力模型分析法、SWOT分析法、PEST分析法,对行业进行全面的内外部环境分析,同时通过资深分析师对目前国家经济形势的走势以及市场发展趋势和当前行业热点分析,预测行业未来的发展方向、新兴热点、市场空间、技术趋势以及未来发展战略等。
【目录大纲】
第一章 2018-2022年中国靶材行业发展概述
第一节 靶材行业发展情况概述
一、靶材行业相关定义
二、靶材特点分析
三、靶材行业基本情况介绍
四、靶材行业经营模式
1、生产模式
2、采购模式
3、销售/服务模式
五、靶材行业需求主体分析
第二节 中国靶材行业生命周期分析
一、靶材行业生命周期理论概述
二、靶材行业所属的生命周期分析
第三节 靶材行业经济指标分析
一、靶材行业的赢利性分析
二、靶材行业的经济周期分析
三、靶材行业附加值的提升空间分析
第二章 2018-2022年全球靶材行业市场发展现状分析
第一节 全球靶材行业发展历程回顾
第二节 全球靶材行业市场规模与区域分布情况
第三节 亚洲靶材行业地区市场分析
一、亚洲靶材行业市场现状分析
二、亚洲靶材行业市场规模与市场需求分析
三、亚洲靶材行业市场前景分析
第四节 北美靶材行业地区市场分析
一、北美靶材行业市场现状分析
二、北美靶材行业市场规模与市场需求分析
三、北美靶材行业市场前景分析
第五节 欧洲靶材行业地区市场分析
一、欧洲靶材行业市场现状分析
二、欧洲靶材行业市场规模与市场需求分析
三、欧洲靶材行业市场前景分析
第六节 2022-2029年世界靶材行业分布走势预测
第七节 2022-2029年全球靶材行业市场规模预测
第三章 中国靶材行业产业发展环境分析
第一节 我国宏观经济环境分析
第二节 我国宏观经济环境对靶材行业的影响分析
第三节 中国靶材行业政策环境分析
一、行业监管体制现状
二、行业主要政策法规
三、主要行业标准
第四节 政策环境对靶材行业的影响分析
第五节 中国靶材行业产业社会环境分析
第四章 中国靶材行业运行情况
第一节 中国靶材行业发展状况情况介绍
一、行业发展历程回顾
二、行业创新情况分析
三、行业发展特点分析
第二节 中国靶材行业市场规模分析
一、影响中国靶材行业市场规模的因素
二、中国靶材行业市场规模
三、中国靶材行业市场规模解析
第三节 中国靶材行业供应情况分析
一、中国靶材行业供应规模
二、中国靶材行业供应特点
第四节 中国靶材行业需求情况分析
一、中国靶材行业需求规模
二、中国靶材行业需求特点
第五节 中国靶材行业供需平衡分析
第五章 中国靶材行业产业链和细分市场分析
第一节 中国靶材行业产业链综述
一、产业链模型原理介绍
二、产业链运行机制
三、靶材行业产业链图解
第二节 中国靶材行业产业链环节分析
一、上游产业发展现状
二、上游产业对靶材行业的影响分析
三、下游产业发展现状
四、下游产业对靶材行业的影响分析
第三节 我国靶材行业细分市场分析
一、细分市场一
二、细分市场二
第六章 2018-2022年中国靶材行业市场竞争分析
第一节 中国靶材行业竞争现状分析
一、中国靶材行业竞争格局分析
二、中国靶材行业主要品牌分析
第二节 中国靶材行业集中度分析
一、中国靶材行业市场集中度影响因素分析
二、中国靶材行业市场集中度分析
第三节 中国靶材行业竞争特征分析
一、企业区域分布特征
二、企业规模分布特征
三、企业所有制分布特征
第七章 2018-2022年中国靶材行业模型分析
第一节 中国靶材行业竞争结构分析(波特五力模型)
一、波特五力模型原理
二、供应商议价能力
三、购买者议价能力
四、新进入者威胁
五、替代品威胁
六、同业竞争程度
七、波特五力模型分析结论
第二节 中国靶材行业SWOT分析
一、SOWT模型概述
二、行业优势分析
三、行业劣势
四、行业机会
五、行业威胁
六、中国靶材行业SWOT分析结论
第三节 中国靶材行业竞争环境分析(PEST)
一、PEST模型概述
二、政策因素
三、经济因素
四、社会因素
五、技术因素
六、PEST模型分析结论
第八章 2018-2022年中国靶材行业需求特点与动态分析
第一节 中国靶材行业市场动态情况
第二节 中国靶材行业消费市场特点分析
一、需求偏好
二、价格偏好
三、品牌偏好
四、其他偏好
第三节 靶材行业成本结构分析
第四节 靶材行业价格影响因素分析
一、供需因素
二、成本因素
三、其他因素
第五节 中国靶材行业价格现状分析
第六节 中国靶材行业平均价格走势预测
一、中国靶材行业平均价格趋势分析
二、中国靶材行业平均价格变动的影响因素
第九章 中国靶材行业所属行业运行数据监测
第一节 中国靶材行业所属行业总体规模分析
一、企业数量结构分析
二、行业资产规模分析
第二节 中国靶材行业所属行业产销与费用分析
一、流动资产
二、销售收入分析
三、负债分析
四、利润规模分析
五、产值分析
第三节 中国靶材行业所属行业财务指标分析
一、行业盈利能力分析
二、行业偿债能力分析
三、行业营运能力分析
四、行业发展能力分析
第十章 2018-2022年中国靶材行业区域市场现状分析
第一节 中国靶材行业区域市场规模分析
一、影响靶材行业区域市场分布的因素
二、中国靶材行业区域市场分布
第二节 中国华东地区靶材行业市场分析
一、华东地区概述
二、华东地区经济环境分析
三、华东地区靶材行业市场分析
(1)华东地区靶材行业市场规模
(2)华南地区靶材行业市场现状
(3)华东地区靶材行业市场规模预测
第三节 华中地区市场分析
一、华中地区概述
二、华中地区经济环境分析
三、华中地区靶材行业市场分析
(1)华中地区靶材行业市场规模
(2)华中地区靶材行业市场现状
(3)华中地区靶材行业市场规模预测
第四节 华南地区市场分析
一、华南地区概述
二、华南地区经济环境分析
三、华南地区靶材行业市场分析
(1)华南地区靶材行业市场规模
(2)华南地区靶材行业市场现状
(3)华南地区靶材行业市场规模预测
第五节 华北地区靶材行业市场分析
一、华北地区概述
二、华北地区经济环境分析
三、华北地区靶材行业市场分析
(1)华北地区靶材行业市场规模
(2)华北地区靶材行业市场现状
(3)华北地区靶材行业市场规模预测
第六节 东北地区市场分析
一、东北地区概述
二、东北地区经济环境分析
三、东北地区靶材行业市场分析
(1)东北地区靶材行业市场规模
(2)东北地区靶材行业市场现状
(3)东北地区靶材行业市场规模预测
第七节 西南地区市场分析
一、西南地区概述
二、西南地区经济环境分析
三、西南地区靶材行业市场分析
(1)西南地区靶材行业市场规模
(2)西南地区靶材行业市场现状
(3)西南地区靶材行业市场规模预测
第八节 西北地区市场分析
一、西北地区概述
二、西北地区经济环境分析
三、西北地区靶材行业市场分析
(1)西北地区靶材行业市场规模
(2)西北地区靶材行业市场现状
(3)西北地区靶材行业市场规模预测
第九节 2022-2029年中国靶材行业市场规模区域分布预测
第十一章 靶材行业企业分析(随数据更新有调整)
第一节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
1、主要经济指标情况
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、公司优 势分析
第二节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第三节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第四节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第五节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
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第十二章 2022-2029年中国靶材行业发展前景分析与预测
第一节 中国靶材行业未来发展前景分析
一、靶材行业国内投资环境分析
二、中国靶材行业市场机会分析
三、中国靶材行业投资增速预测
第二节 中国靶材行业未来发展趋势预测
第三节 中国靶材行业规模发展预测
一、中国靶材行业市场规模预测
二、中国靶材行业市场规模增速预测
三、中国靶材行业产值规模预测
四、中国靶材行业产值增速预测
五、中国靶材行业供需情况预测
第四节 中国靶材行业盈利走势预测
第十三章 2022-2029年中国靶材行业进入壁垒与投资风险分析
第一节 中国靶材行业进入壁垒分析
一、靶材行业资金壁垒分析
二、靶材行业技术壁垒分析
三、靶材行业人才壁垒分析
四、靶材行业品牌壁垒分析
五、靶材行业其他壁垒分析
第二节 靶材行业风险分析
一、靶材行业宏观环境风险
二、靶材行业技术风险
三、靶材行业竞争风险
四、靶材行业其他风险
第三节 中国靶材行业存在的问题
第四节 中国靶材行业解决问题的策略分析
第十四章 2022-2029年中国靶材行业研究结论及投资建议
第一节 观研天下中国靶材行业研究综述
一、行业投资价值
二、行业风险评估
第二节 中国靶材行业进入策略分析
一、目标客户群体
二、细分市场选择
三、区域市场的选择
第三节 靶材行业营销策略分析
一、靶材行业产品策略
二、靶材行业定价策略
三、靶材行业渠道策略
四、靶材行业促销策略
第四节 观研天下分析师投资建议
图表详见报告正文······