2020年中国半导体设备及材料国产化率预测
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国产化 |
2020 |
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光刻机 |
突破0 |
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刻蚀设备 |
<20% |
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涂胶显影设备 |
突破0 |
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离子注入设备 |
突破0 |
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薄膜设备 |
10-15% |
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抛光设备 |
10.00% |
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清洗设备 |
20.00% |
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过程控制设备 |
2-3% |
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数字测试机/探针台 |
突破0 |
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整体工艺设备 |
～12% |
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原材料 |
<15% |
资料来源︰观研天下整理（SYL）
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