一、概述
湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料,广泛用于半导体、显示面板、光伏、LED 等电子元器件微细加工的清洗、光刻、显影、蚀刻、掺杂等工艺环节配套使用,是半导体、显示面板、光伏等制作过程中不可缺少的关键性材料之一。
根据观研报告网发布的《中国湿电子化学品市场发展态势分析与投资战略预测报告(2022-2029年)》显示,从大类来分,一般可划分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品。根据中国电子材料行业协会数据,通用湿电子化学品占比88.2%,其中过氧化氢占比16.7%,氢氟酸占比16%,硫酸占比15.3%,硝酸占比14.3%。功能湿电子化学品占比11.8%,其中MEA等极性溶液占比3.2%,显影液(半导体用)占比2.7%,蚀刻液(半导体用)占比2.2%。
湿电子化学品分类
大类 | 小类 | 具体产品 |
通用湿电子化学品 | 酸类 | 氢氟酸、硫酸、磷酸、硝酸、乙酸、乙二酸等 |
碱类 | 氢氧化铵、氢氧化钾、氢氧化钠等 | |
有机溶剂类 | 甲醇、乙醇、丙酮、丁酮、乙酸乙酯、甲苯等 | |
其他类 | 过氧化氢等 | |
功能湿电子化学品 | 复配类化学品 | 显影液、剥离液、清洗液、蚀刻液、稀释液等 |
数据来源:观研天下整理
湿电子化学品分类作用及占比
类别 | 名称 | 作用 | 占湿电子化学品总需求比例 | 合计占比 |
通用湿电子化学品 | 过氧化氢 | 清洗、腐蚀剂,可与浓硫酸、硝酸、氫氟酸、氢氧化铵等配制使用,在集成电路制程应用较多 | 16.7% | 88.2% |
氢氟酸 | 强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、过氧化氢及氢氧化铵等配制使用 | 16.0% | ||
硫酸 | 强酸性清洗、腐蚀剂,在集成电路制程应用最多 | 15.3% | ||
硝酸 | 酸性清洗、腐蚀剂,可与冰乙酸、过氧化氢配制使用 | 14.3% | ||
磷酸 | 超纯磷酸为酸性腐蚀剂,主要用于超大规模集成电路工艺技术的生产 | 8.7% | ||
盐酸 | 酸性清洗、腐蚀剂,可与过氧化氢配制使用,可有效降低金属杂质 | 4.8% | ||
氢氧化钾 | 用于氧化物蚀刻 | 3.8% | ||
氨水 | 碱性清洗、腐蚀剂,可与过氧化氢、水、氢氟酸配制使用 | 3.7% | ||
异丙酮 | 用作电子清洁剂 | 2.8% | ||
醋酸 | 用作铝等蚀刻液 | 1.9% | ||
功能湿电子化学品 | MEA等极性溶液 | 用于半导体清洗 | 3.2% | 11.8% |
显影液(半导体用) | 光刻胶曝光后显影剂 | 2.7% | ||
蚀刻液(半导体用) | 硅、金属层蚀刻 | 2.2% | ||
显影液(面板用) | 光刻胶曝光后显影剂 | 1.6% | ||
剥离液(半导体用) | 剥离液通常用在蚀刻工艺完成之后,用于去除光刻胶和残留物质,同时防止对下层的衬底层造成损坏 | 1.2% | ||
缓冲蚀刻液(BOE) | 主要用于蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜 | 0.9% |
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二、发展现状
湿电子化学品的纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能和可靠性有十分重要的影响。近年来,我国湿电子化学品行业市场规模呈稳步增长态势。根据数据显示,2021年,我国湿电子化学品行业市场规模达到137.8亿元,2015-2021年的年复合增长率为14.6%。
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需求方面,目前,湿电子化学品行业主要应用于半导体、平板显示、太阳能电池等领域。近年来,随着半导体、太阳能电池等产业快速发展,带动我国湿电子化学品行业需求稳步增长。根据数据显示,2021年,我国湿电子化学品需求量为213.5万吨,预计2025年需求量将达到369.6万吨。其中,2021年湿电子化学品行业的半导体领域需求量70.3万吨,光伏需求量65.4万吨;预计到2025年半导体需求量106.9万吨,光伏需求量113.1万吨。
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具体从细分应用市场来看,
1、半导体领域
湿电子化学品在主要应用于半导体加工的硫酸、双氧水、氨水等。其中,需求量最大的是硫酸,使用量占比32.8%,其次是双氧水,使用量占比28.1%。随着半导体产业快速发展,集成电路用湿电子化学品市场规模也不断扩大,2021年达到52.1亿元。
数据来源:观研天下整理
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2、显示面板领域
在显示面板领域,湿电子化学品在磷酸、硝酸、MEA等极性溶液等领域需求较大。具体从需求结构来看,磷酸对湿电子化学品需求占比为41.3%,硝酸对湿电子化学品需求占比为24.06%,MEA等极性溶液对湿电子化学品需求占比为15.8%。市场规模方面,根据数据显示,截止2021年,我国显示面板用湿电子化学品市场规模为62.3亿元,预计到2025年将达到126.5亿元。
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数据来源:观研天下整理(WYD)
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