半导体质量控制通常也广义地表达为检测。贯穿于集成电路领域生产过程的质量控制环节进一步可分为前道检测、中道检测和后道测试。其中前道检测主要是针对光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP 等每个工艺环节的质量控制的检测;中道检测面向先进封装环节,主要为针对重布线结构、凸点与硅通孔等环节的质量控制;后道测试主要是利用电学对芯片进行功能和电参数测试,主要包括晶圆测试和成品测试两个环节。根据检测类型的不同,半导体质量控制设备可分为检测设备和量测设备。
一、行业市场发展现状
近年来全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长。根据相关数据显示,2016-2020年全球半导体检测与量测设备市场规模从47.6亿美元增长到76.5亿美元,年均复合增长率为12.6%。其中检测设备占比为 62.6%,量测设备占比为 33.5%。
数据来源:观研天下整理
同全球市场走势基本相同,2016-2020年我国大陆半导体检测与量测设备市场规模呈现快速增长态势。尤其是在 2019 年全球半导体检测和量测设备市场较 2018 年缩减了近 3.8%的背景下,中国大陆地区半导体检测和量测设备市场 2019 年仍然实现了 35.2%的同比增长,超过中国台湾市场成为全球最大的半导体检测与量测设备市场,占比为 26.5%;2020 年中国大陆半导体检测和量测设备市场规模占全球半导体检测和量测设备市场比例进一步提升至 27.4%。目前受益于国内集成电路行业的快速发展,我国已经成为全球最大的半导体检测与量测设备市场。2020 年我国大陆半导体检测与量测设备的市场规模为 21.0 亿美元,同比增长 24.3%。
数据来源:观研天下整理
二、市场竞争情况
目前全球半导体检测和量测设备市场也呈现国外设备企业垄断的格局,全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。其中科磊半导体一家独大,,其在检测与量测设备的合计市场份额占比为 50.8%。
我国半导体检测与量测设备市场中,国产化率较低,市场呈现高度垄断的市场竞争格局,主要由科磊半导体、应用材料、日立等几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位。中科磊半导体在中国市场的占比仍然最高,领先于所有国内外检测和量测设备公司,并且得益于中国市场规模近年来的高速增长。根据相关数据显示,科磊半导体在中国大陆市场近 5 年的销售额复合增长率超过 35.7%,显著高于在全球约 13.2%的复合增长率,市场份额达到了54.8%。其次依次为应用材料、日立,占比分别为 9.0%和 7.1%。
目前国内半导体市场处于高速增长期,本土企业存在较大的国产化空间,但由于国外知名企业规模大,产品线覆盖广度高,品牌认可度高,导致本土企业的推广难度较大。但近年来国内企业在检测与量测领域突破较多,受益于国内半导体产业链的迅速发展,该领域国产化率有望在未来几年加速提升。
根据观研报告网发布的《中国半导体检测设备行业现状深度研究与发展前景分析报告(2023-2030年)》显示,目前我国半导体检测与量测设备市场中主要有科磊半导体、应用材料、日立、阿斯麦、上海睿励、精测电子、中科飞测等企业。
我国半导体检测与量测设备市场主要企业竞争优势情况
竞争优势 |
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科磊半导体 |
产品线优势:公司产品线涵盖了质量控制全系列设备,在晶圆形貌检测、无图形缺陷检测、掩膜版检测、 套刻误差检测等领域具有较强的竞争优势。 |
市场地位优势:是行业市场龙头企业,市占率超过 50%。 |
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技术优势:公司在光学检测和软件建模等方面具备较大的技术优势。 |
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研发优势:2022 年科磊半导体研发费用为 11.05 亿美元,同比增长 19.04%,占总营业 收入的 12%。2019-2022 年科磊半导体研发费用逐年增长,分别为 7.11 亿美元、8.64 亿美元、9.28 亿美元、 11.05 亿美元。2022 年科磊半导体研发费用为 11.05 亿美元,同比增长 19.04%,占总营业收入的 12%。 |
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应用材料 |
专利优势:目前公司拥有15700个专利。 |
研发优势:在过去的十年中,应用材料公司平均每年的研发投入超过10亿美元,2021年研发总投资达25亿美元,占全年营收的11%左右。 |
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人才优势:目前公司在全球拥有员工27000人。 |
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市场优势:公司在19个国家和地区设有超过115个分支机构。 |
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品牌优势:2022年,成功入选《财富》评选的“2022年全球最受赞赏公司榜单”。2022年,应用材料公司再次荣获前程无忧和应届生求职网评选的“2022中国大学生喜爱雇主”。2022年,被《巴伦周刊》评为2022年“最具可持续发展力公司”。同年,被《投资者日报》评为“2021最佳环境、社会与治理(ESG)公司”。 |
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先发优势:公司是第一家进入中国的国际芯片制造设备公司。 |
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日立 |
背景优势:是来自日本的全球500强综合跨国集团,1979年便在北京成立了第一家日资企业的事务所。 |
先发优势:是早期进入中国市场的少数外资企业之一。 |
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技术优势:日立积极开拓中国市场,引进大量先进的技术和产品。 |
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规模优势:截止到2022年3月末,日立集团在中国拥有136家集团企业,正式员工约5万名,在中国市场的销售额达到13,316亿日元(约692亿元) ,约占日立集团全球总销售额的13%。 |
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上海睿励 |
品牌优势:公司持续保持在国际及国内相应产业和市场的领先地位。 |
团队优势:公司将通过不断吸收和培养人才,建立和发展业界一流的具有自主创新能力的企业和团队。 |
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产品优势:公司的产品填补国家重大产业链中的重要空白。2011 年,睿励推出自主研发的适用于 65nm 和 45nm 技术节点 的 300mm 硅片全自动精密薄膜和线宽测量系统(TFX3000)。2013 年,睿励适用于 28nm 要求的光学测量 设备开始在 12 寸生产线销售。 |
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精测电子 |
产品优势:公司主营产品包括平板显示检测、半导体检测和新能源检测设备三大类,其中半导体领域覆盖前道量/检测和后道测试设备:主 要包括:覆盖膜厚量测、光学关键尺寸检测(OCD)、电子束缺陷复查和检测设备、光学缺陷检测设备、老 化(Burn-In)测试设备、晶圆探测设备(CP ATE)和终测设备(FT ATE)等。 |
研发优势:公司持续加大研发投入力度,研发投入持续提升。2022 年公司研发投入约 5.89 亿元,占总营业收入的 21.58%, 同比增加 29.70%。2019-2021 公司研发投入分别为 2.88、3.22 和 4.54 亿元。 |
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阿斯麦 |
市场地位优势:是全球最大的半导体设备制造商之一。 |
产品优势:ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。 |
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客户优势:全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等。 |
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品牌优势:2020年5月13日,阿斯麦控股名列2020福布斯全球企业2000强榜第361位。2022年12月9日,阿斯麦控股以13,410亿人民币位列《2022胡润世界500强》第42名。 |
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中科飞测 |
技术优势:目前,公司已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等9项核心技术。 |
专利优势:目前公司拥有专利353项。 |
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人才优势:截至 2022 年 12 月 31 日,公司研发团队 324 人,构筑起了跨专业、多层次的人才梯队。 |
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客户优势:公司设备陆续进入中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等集成电路前道制程及先进封装知名客户,在精密加工领域,亦进入了蓝思科技等知名厂商。 |
资料来源:观研天下整理(WW)

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