一、溅射靶材种类和性能丰富,金属靶材未来可期
根据观研报告网发布的《中国溅射靶材行业现状深度分析与投资前景预测报告(2024-2031年)》显示,溅射靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)溅射工艺的材料,用于制备薄膜。在PVD过程中,溅射靶材被加热并被离子轰击,从而产生蒸汽,这些蒸汽沉积在基底上形成薄膜。
溅射靶材的选择取决于所需薄膜的化学和物理性质,以及所使用的PVD工艺。常见的溅射靶材包括金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物等。随着PVD技术的不断发展,溅射靶材的种类和性能也在不断更新和改进。
靶材类型划分
靶材类型 | 材料示例 | 应用领域或特性 |
单质金属/非金属靶材 | 铜靶、铝靶、钼靶、钛靶、硅靶、石墨靶、硼靶 | 制备电极布线膜、阻挡膜、粘合膜、反射膜等 |
合金靶材 | 钛铝靶、镍铬靶、钼靶 | 优于单质靶材的特异性质,新型功能膜系设计开发 |
陶瓷化合物靶材 | ITO靶、IZO靶、AZO靶 | 高强度、高熔点、化学稳定性好、耐腐蚀,但易脆性破坏 |
资料来源:观研天下整理
金属靶材未来可期。金属靶材以其出色的导电性、热稳定性、沉积速度快、溅射率低的特点,成为薄膜沉积的不二选择。金属薄膜可以广泛应用于半导体芯片、平面显示器、太阳能电池、信息存储、工具改性等下游领域,其所用金属类别以及性能要求各有千秋。
金属溅射靶材的应用领域以及性能要求
应用领域 | 金属材料 | 主要用途 | 性能要求 |
半导体芯片 | 超高纯度铝、钛、铜、钼等 | 制备集成电路 | 技术要求最高、超高纯度金属、高精度尺寸、高集成度 |
平面显示器 | 高纯度铝、铜、钼等,ITO | 高清晰电视、笔记本电脑等 | 技术要求高、高纯度材料、材料面积大、均匀性程度高 |
太阳能电池 | 高纯度铝、铜、钼、铬等,ITO | 薄膜太阳能电池 | 技术要求高、应用范围大 |
信息存储 | 铬基、钴基合金等 | 光驱、光盘等 | 高储存密度、高传输速度 |
工具改性 | 纯金属铬、铬铝合金等 | 工具、模具等表面强化 | 性能要求较高、使用寿命延长 |
电子器件 | 镍铬合金、铬硅合金等 | 薄膜电阻、薄膜电容等 | 电子器件尺寸小、稳定性好、电阻温度系数小 |
其他领域 | 纯金属铬、钛、镍等 | 装饰镀膜、玻璃镀膜等 | 技术要求一般,主要用于装饰、节能等 |
资料来源:观研天下整理
二、全球溅射靶材市场规模持续稳定增长,中国行业地位不断提高
作为各类薄膜工业化制备的关键材料,随着半导体集成电路、平面显示、太阳能电池、信息存储、低辐射玻璃等领域发展,全球溅射靶材市场规模持续稳定增长。根据数据,2016-2023年全球溅射靶材市场规模由113亿美元增长至258亿美元,年复合增长率为12.52%。
数据来源:观研天下数据中心整理
中国因本土化生产和应用的增加,在全球溅射靶材行业中的地位越来越重要。数据显示,2018-2023年我国溅射靶材市场规模由243亿元增长至431亿元,年复合增长率达12.91%。
数据来源:观研天下数据中心整理
三、美日企业占据全球溅射靶材主要市场,中国企业“乘风而起”
美国和日本企业凭借专利先发优势占据了约80%的全球溅射靶材市场份额,其中日本日矿金属、美国霍尼韦尔、日本东曹、美国普莱克斯分别占比30%、20%、20%、10%。
数据来源:观研天下数据中心整理
随着国内显示和半导体集成电路产业迅速发展,下游产业逐步向国内转移,带动了国内溅射靶材行业的快速发展,我国溅射靶材产业逐渐从单一的规模增长转变为进口替代的结构化增长,以江丰电子、阿石创、有研新材、隆华科技、欧莱新材等为代表的一批具有较强市场竞争力的本土靶材企业成功进入了国内外知名平台显示、半导体集成电路等下游企业的供应链环节,对境外厂商在国内的市场份额形成了进口替代,并实现了部分出口,保障了国内重点行业上游关键原材料的自主可控及供应安全。
我国溅射靶材行业代表企业基本情况
企业名称 | 简介 | 营收情况 |
江丰电子 | 江丰电子成立于2005年,注册地位于浙江省宁波市,2017年在深圳证券交易所上市。江丰电子主要从事超高纯金属溅射靶材以及半导体精密零部件的研发、生产和销售。产品主要应用于超大规模集成电路芯片、平板显示器、太阳能电池等领域。 | 江丰电子2023年实现营业收入26.02亿元,同比增长11.89%;实现归属于母公司股东的净利润2.55亿元,同比下降3.35%。其中,超高纯靶材业务板块营业收入为16.73亿元,同比增长3.79%。 |
阿石创 | 阿石创成立于2002年,注册地位于福建省福州市,2017年在深圳证券交易所上市。阿石创主要从事各种PVD镀膜材料的研发、生产和销售,主要产品包括溅射靶材和蒸镀材料。产品主要应用于平板显示、光学光通讯、节能玻璃等领域。 | 阿石创2023年实现营业收入9.58亿元,实现归属于母公司股东的净利润1227万元,其中,溅射靶材业务板块营业收入为5.21亿元。 |
隆华科技 | 隆华科技成立于1995年,注册地位于河南省洛阳市,2011年在深圳证券交易所上市。隆华科技的业务类型包括电子新材料、高分子复合材料和节能环保业务,产品主要应用于磁悬浮列车、航天、石油、化工、工业水处理、市政水处理、城市矿山资源处置、污水处理、矿物浮选等领域。 | 隆华科技2023年实现营业收入24.67亿元,实现归属于母公司股东的净利润1.27亿元,其中,电子新材料业务板块营业收入为4.73亿元。 |
有研新材 | 有研新材成立于1999年,是由北京有色金属研究总院独家发起,以募集方式设立的股份有限公司,于1999年3月成立并在上海证券交易所挂牌上市。有研新材主要从事稀土材料、微光电子用薄膜材料、生物医用材料、稀有金属及贵金属、红外光学及光电材料等新材料的研发与生产,是我国有色金属新材料行业的骨干企业。 | 有研新材2023年实现营业收入108.22亿元,实现归属于母公司股东的净利润2.26亿元。 |
欧莱新材 | 欧莱新材成立于2010年,注册地位于广东省韶关市,2024年在上海证券交易所科创板上市。欧莱新材主营业务为高性能溅射靶材的研发、生产和销售,主要产品包括多种尺寸和各类形态的铜靶、铝靶、钼及钼合金靶和ITO靶等,产品可广泛应用于半导体显示、触控屏、建筑玻璃、装饰镀膜、集成电路封装、新能源电池和太阳能电池等领域,是各类薄膜工业化制备的关键材料。 | 欧莱新材2023年实现营业收入4.76亿元,实现归属于母公司股东的净利润0.49亿元。 |
资料来源:观研天下整理
现阶段,国务院、国家发改委、工信部等政府部门通过各类文件多层次、多角度、多领域对高性能溅射靶材行业予以全产业链、全方位的指导,为行业内企业的经营发展提供了有力的支持和良好的环境。我国溅射靶材企业“乘风而起”,市场份额有望不断提升。
我国溅射靶材行业相关政策
时间 | 政策 | 发布单位 | 相关内容 |
2023年 | 《电子信息制造业2023-2024年稳增长行动方案》 | 工信部、财政部 | 面向数字经济等发展需求,优化集成电路、新型显示等产业布局并提升高端供给水平,增强材料、设备及零配件等配套能力 |
2023年 | 《制造业可靠性提升实施意见》 | 工信部、教育部、科技部、市场监管总局 | 在基础产品可靠性“筑基”工程中提高高频高速印刷电路板及基材、新型显示专用材料、新型显示电子功能材料、先进陶瓷基板材料、芯片先进封装材料等电子材料性能 |
2022年 | 《原材料工业“三品”实施方案》 | 工业和信息化部办公厅、国资委办公厅、市场监管总局办公厅、知识产权局办公室 | 支持鼓励光刻胶、光电显示材料、工业气体、靶材等关键基础材料研发和产业化,加强前沿新材料的质量性能研发,完善新材料生产应用平台,优化上下游合作机制 |
2021年 | 《“十四五”原材料工业发展规划》 | 工信部、科技部、自然资源部 | 提出推动超高纯金属及靶材制备等新技术研发;突破关键材料中提出围绕集成电路、信息通信和能源产业等重点应用领域,攻克包括靶材在内的一批关键材料 |
2021年 | 《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》 | 全国人民代表大会 | 聚焦新一代信息技术、生物技术、新能源、新材料、高端装备、新能源汽车、绿色环保以及航空航天、海洋装备等战略性新兴产业,加快关键核心技术创新应用,增强要素发展保障能力,培育壮大产业发展新动能 |
2020年 | 《关于扩大战略性新兴产业投资培育壮大新增长点增长的指导意见》 | 国家发改委、科技部、工信部、财政部 | 加快新材料产业强弱项,实现光刻胶、高纯靶材等关键材料领域的突破 |
2017年 | 《新材料关键技术产业化实施方案》 | 国家发改委 | 明确大尺寸高纯钼靶材材料技术指标:钼靶材纯度≥99.99%,板状靶材长度≥2000mm,管状靶材外径≥150mm,长度>1500mm |
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