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国内半导体设备保持较快增速，有望加速国产替代。根据中国电子专用设备工业协会对国内35家主要半导体设备制造商的统计，
SEMI 统计 17 年全球半导体设备支出达到 570 亿美元，较上半年的预测金额增加20.7%，同比增长达38%，
相关市场调研报告《2017-2022年中国半导体行业竞争态势及十三五运行态势预测报告》半导体设备与材料多年来一直被视为中国集成电路产业自主发展的
国家“02 专项”对半导体设备发展提升显著 Si C 与 Ga N 逐渐成为功率半导体器件重要材料 第三代半导体发展市场巨大。02 专项在“十二五”期间重点实施的内容和目标分别是:重点进行 45-22纳米关键制造装备攻关，开发 32-22 纳米互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺、90-65 纳米特色工艺，开展 22-14 纳米前瞻性研究，形成 65-45纳米装备、材料、工艺配套能力及集成电路制造产业链。
2016年度半导体设备的订单需求旺盛 正经历一波投资热潮。2016年度，半导体设备的订单需求旺盛，北美半导体设备订单出货比（BB ratio）和日本半导体设备订单出货比大部分时间大于1，同时半导体设备的订单额也处于近几年来的较高点，半导体行业正经历一波投资热潮。
随着近期国内半导体制造企业密集启动投资项目与产能建设（未来两年晶圆制造厂达到10座），有观点认为中国半导体产业黄金发展期正在到来。但与此同
2013年全球半导体设备行业市场变动情况分析及预测，设备供应商在面对全球市场环境和技术压力下，应对的方式之一也是整合。为了提高生产效率和研发效率，未来在每一步半导体生产技术中经过整合留存下来的设备供应商可能只有2～3家。
2009-2010年中国半导体设备行业市场调查及发展预测报告,2009-2010年中国半导体设备行业市场发展环境分析,2009-2010年全球半导体设备行业整体运营状况分析,2009-2010年中国半导体设备行业市场运行态势分析
