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第一章碳化硅单晶片、外延片、器件产业概述 1.1 碳化硅单晶片、外延片、器件定义 1.1.1 碳化硅概述 1.1.2 碳化硅晶体结构介绍
第一章碳化硅单晶片、外延片、器件产业概述 1.1 碳化硅单晶片、外延片、器件定义 1.1.1 碳化硅概述 1.1.2 碳化硅晶体结构介绍 1.1.3 碳化硅单晶片定义 1.1.4 碳化硅外延片定义 1.1.5 碳化硅器件定义 1.2 碳化硅单晶片、外延片、器件分类及应用 1.2.1 碳化硅的分类及应用 1.2.2 碳化硅单晶片的分类及应用 1.2.3 碳化硅外延片的分类及应用
