光刻机是一种用来制造微电子芯片、纳米器件等微观结构的设备。它利用紫外光通过光掩膜将芯片设计图案投射在光敏材料上,并通过一系列化学、物理过程完成图案转移。
我国光刻机行业相关政策
为进一步优化光刻机行业发展,我国陆续发布了一系列相关政策,如2024年工业和信息化部等七部门发布的《关于推动未来产业创新发展的实施意见》提出推动有色金属、化工、无机非金厘等先进基础材料升级,发展高性能碳纤维、先进半导体等关键战略材料,加快超导材料等前沿新材料创新应用。
我国光刻机行业相关政策
发布时间 | 发布部门 | 政策名称 | 主要内容 |
2023年1月 | 工业和信息化部等六部门 | 关于推动能源电子产业发展的指导意见 | 加快功率半导体器件等面向光伏发电、风力发电、电力传输、新能源汽车、轨道交通推广。 |
2023年7月 | 制选业可靠性提升实施意见 | 制选业可靠性提升实施意见 | 重点提升电子整机装备用 SoCIMcU/GPU等真端通用芯片,氮化镖/碳化硅等宽禁带半导体功率器件、釉密光学元器件、光通信器件,新型敏感元件及传惑器,高适应性传跑器模组、北斗芯片与器件、片式阻容感元件、高速连接器、高端射濒器件, 高端机电元器件、LED 芯片等电子元器件的可靠性水平。 |
2023年7月 | 国家发展改革委等六部门 | 关于促进退役风电、光伏设备循环利用的指导意见 | 重点聚焦风机叶片纤维复合材料,以及光伏组件中半导体材料、金属材料、聚合物等,探索兼顾经济性、环保性的再生利用先进技术和商业模式。 |
2023年8月 | 工业和信息化部、财政部 | 电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案 | 梳理基础电子元器件、半导体器件、光电子器件、电子材料、新型显示、集成电路、智慧家庭、虚拟现实等标准体系,加快重点标准制定和已发布标准落地实施。 |
2023年8月 | 国务院 | 河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划 | 聚焦网络与通信、半导体与集成电路等前沿交叉领域,支持深港联合国内外高校、科研院所在深圳园区共建卓越研究中心、前沿交叉研究平台、人工智能应用示范平台、数字经济与金融超级计算集群、“量子谷”,促进粤港澳大湾区科技资源深度融合。 |
2024年1月 | 工业和信息化部等七部门 | 关于推动未来产业创新发展的实施意见 | 推动有色金属、化工、无机非金厘等先进基础材料升级,发展高性能碳纤维、先进半导体等关键战略材料,加快超导材料等前沿新材料创新应用。 |
资料来源:观研天下整理
部分省市光刻机行业相关政策
为响应国家政策规划, 各省市对光刻机行业的发展做出了具体规划,支持当地光刻机行业稳定发展,比如河北省发布的《河北省“十四五”现代综合交通运输体系发展规划》提出完善光刻机保障体系,进一步加强光刻机态势感知和监测预警,做好交通运输关键信息、基础设施和关键数据资源保护。
部分省市光刻机行业相关政策(一)
省市 | 发布时间 | 政策名称 | 主要内容 |
内蒙古自治区 | 2023年1月 | 支持呼和浩特市高质量发展的意见 | 加快建设内蒙古中环产业城,打造新一代半导体材料研发平台,重点突破太阳能电池、光伏应用核心部件研发生产“卡脖子”技术,打造千亿级半导体产业集群。 |
江苏省 | 2023年2月 | 关于推动战略性新兴产业融合集群发展的实施方案 | 推动宽禁带半导体电力电子器件、射频器件、大功率半导体激光器等关键部件研发及产业化,建设国内领先、国际先进的第三代半导体产业基地。 |
湖南省 | 2023年3月 | 湖南省“智赋万企”行动方案(2023—2025年) | 通过“十大技术攻关”“揭榜挂帅”等方式,加大新一代半导体、新型显示、基础电子元器件、关键软件、人工智能、大数据、先进计算、高性能芯片、智能传感等重点领域核心技术创新力度,提升基础软硬件、核心电子元器件、关键基础材料供给水平,突破数字孪生、边缘计算、区块链、智能制造等集成技术。 |
宁夏回族自治区 | 2023年3月 | 关于深入推进新型工业强区五年计划的实施意见 | 推进半导体材料、蓝宝石等电子元器件向产业链高端延伸,在智能终端、集成电路等领域取得突破。 |
江西省 | 2023年2月 | 科技兴赣六大行动实施方案(2023-2025年) | 加快复合半导体材料、食品、稀土等优势领域省实验室建设。推动省实验室与省重点实验室统筹协调、融合发展。到2025年,力争新建省实验室3-5个。 |
江西省 | 2023年7月 | 江西省制造业重点产业链现代化建设“1269”行动计划(2023-2026年) | 新能源动力系统领域,重点发展以功率半导体、功率金属氧化物半导体效应晶体管、继电器等为代表的车规级零部件。 |
北京市 | 2023年9月 | 北京市促进未来产业创新发展实施方案 | 面向前沿新材料需求,在海淀、房山、顺义、大兴、经开区等区域,重点发展石墨烯材料、超导材料、超宽禁带半导体材料、新一代生物医用材料等细分产业。 |
广东省 | 2023年9月 | 深圳市关于推动新材料产业集群高质量发展的若干措施 | 优化材料攻关机制,定期向半导体和集成电路、超高清视频显示、网络与通信等下游应用领域龙头企业征集关键核心材料攻关需求,形成重点电子信息材料技术攻关清单,支持上游材料企业、高校、科研院所围绕清单内重点材料开展定向攻关,单个项目资助金额不超过3000万元。 |
资料来源:观研天下整理
部分省市光刻机行业相关政策(二)
省市 | 发布时间 | 政策名称 | 主要内容 |
河北省 | 2023年1月 | 加快建设数字河北行动方案(2023-2027年) | 加快石家庄信息产业集群建设,完善半导体材料、集成电路、卫星互联网等产业链条,推动重大项目建设,打造千亿级电子信息产业集群。 |
河北省 | 2023年9月 | 关于促进电子信息产业高质量发展的意见 | 巩固电子特种气体、碳化硅衬底、半导体外延片、溅射靶材等基础材料优势;发展硅片切割、芯片检测等半导体专用装备,提升射频、光通信、传感器等专用芯片设计水平;加快第三代半导体芯片器件、微波射频、电源管理、高端传感器等专用芯片生产线建设。 |
广东省 | 2023年3月 | 广东省推动新型储能产业高质量发展的指导意见 | 重点研发智能传感器、电池管理芯片、功率半导体器件、直流变换器、能源路由器、断路器、柔性配电装备等关键设备,促进“光储端信”深度融合和创新应用。 |
广东省 | 2023年9月 | 深圳市关于推动新材料产业集群高质量发展的若干措施 | 优化材料攻关机制,定期向半导体和集成电路、超高清视频显示、网络与通信等下游应用领域龙头企业征集关键核心材料攻关需求,形成重点电子信息材料技术攻关清单,支持上游材料企业、高校、科研院所围绕清单内重点材料开展定向攻关,单个项目资助金额不超过3000万元。 |
河南省 | 2023年9月 | 关于支持第三代半导体等5个细分行业发展的若干措施 | 支持第三代半导体材料、芯片、器件等产品市场开拓,对为应用企业首次提供自主研发的产品,按照供需双方第一年销售合同额的10%(双方各5%)给予一次性最高500万元奖励。 |
山西省 | 2023年3月 | 美丽山西建设规划纲要(2023-2035年) | 做大做强做优信息技术应用创新、半导体等重点产业集群,打造全国重要的新兴产业研发制造基地。 |
山西省 | 2023年11月 | 关于印发山西省加大吸引外商投资力度若干措施的通知 | 鼓励外商投资企业在太原市重点投资特钢材料深加工、高端装备制造、风电设备、氢能、第三代半导体等重点产业链,发挥好内陆地区对外开放新高地作用。 |
资料来源:观研天下整理(xyl)
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